煤炭燃燒時除生成SO2以外，還生成少量的SO3，煙氣中SO3的濃度為10~40ppm。由于煙氣中含有水（4%~12%），生成的SO3瞬間內形成硫酸霧。當溫度較低時，硫酸霧凝結成硫酸附著在設備的內壁上，或溶解于洗滌液中。這就是濕法吸收塔及有關設備腐蝕相當嚴重的主要原因。解決方法主要有：采用耐腐蝕材料制作吸收塔，如采用不銹鋼、環氧玻璃鋼、硬聚氯乙烯、陶瓷等制作吸收塔及有關設備；設備內壁涂敷防腐材料，如涂敷水玻璃等；設備內襯橡膠等。
含有煙塵的煙氣高速穿過設備及管道，在吸收塔內同吸收液湍流攪動接觸，設備磨損相當嚴重。解決的主要方法有：采用合理的工藝過程設計，如煙氣進入吸收塔前要進行高效除塵，以減少高速流動煙塵對設備的磨損；采用耐磨材料制作吸收塔及其有關設備，以及設備內 壁內襯或涂敷耐磨損材料。近年來，我國燃煤工業鍋爐及窯爐煙氣脫硫技術中，吸收塔的防腐及耐磨損已取得顯著進展，致使煙氣脫硫設備的運轉率大大提高。
吸收塔、煙道的材質、內襯或涂層均影響裝置的使用壽命和成本。吸收塔體可用高（或低）合金鋼、碳鋼、碳鋼內襯橡膠、碳鋼內襯有機樹脂或玻璃鋼。美國因勞動力昂貴，一般采用合金鋼。德國普遍采用碳鋼內襯橡膠（溴橡膠或氯丁橡膠），使用壽命可達10年。腐蝕特別嚴重的如漿池底和噴霧區，采用雙層襯膠，可延長壽命25%。ABB早期用C-276合金鋼制作吸收塔，單位成本為63美元/KW，現采用內襯橡膠，成本為22美元/KW。煙道應用碳鋼制作時，采用何種防腐措施取決于煙氣溫度（是否在酸性露點或水蒸汽飽和溫度以上）及其成分（尤其是SO2和H2O含量）。
日本日立公司的防腐措施是：煙氣再熱器、吸收塔入口煙道、吸收塔煙氣進口段，采用耐熱玻璃鱗片樹脂涂層，吸收塔噴淋區用不銹鋼或碳鋼橡膠襯里，除霧器段和氧化槽用玻璃鱗片樹脂涂層或橡膠襯里。
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